環境中有能力沉降于表面上形成單分子層(monolayer)薄膜之氣態化學物染物質。
AMC的污染濃度並未與目前的潔淨室等級形成直接關係，已有文獻報告指出class 1的有機氣態污染物之濃度可能比class 10還大[Kitajima and Shiramizu, 1997]。
AMC V.S. particle：曾有研究指出在等級為class 100潔淨室內總有機氣態污染物濃度約100μg/m3，而粒狀污染物濃度在潔淨室約為20ng/m3。故潔淨室內氣態分子污染物沉積于晶圓表面的速率可能為微粒的數個階級以上。
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